技术编号:11220297
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多方向的压电超声发生器及其制备方法,属于超声、微电子机械系统技术领域。背景技术超声波发生器,通常称为超声波发生源,超声波具有聚束、定向及反射、透射等特性。近20多年来,随着MEMS技术的飞速发展,对MEMS悬臂梁结构进行了深入的研究,使得MEMS悬臂梁技术应用于超声发生器成为可能。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种多方向的压电超声发生器及其制备方法,通过采用MEMS悬臂梁技术设计三个相互之间成1200的MEMS悬臂梁,从而实现超声发生器的方向性选择。该超声发生器具有结构小型...
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