技术编号:11222889
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及功能陶瓷制备技术领域,特别涉及一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法。背景技术近年来随着液晶显示器与太阳能电池的发展,使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前常用的透明导电薄膜材料主要是ITO。近年来由于液晶显示器与太阳能电池的需求大幅增长;手机及触摸屏的需求迅速增加。如何降低透明导电薄膜的材料成本与提高薄膜材料的性能成为当前的首要目标。但由于铟资源的稀少和价格的增加,世界各国的学者都急欲寻找新一代的透明导电薄膜材料,开发具有高透光、导电特性好的“非铟”材料来替代ITO。由于AZO透...
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