技术编号:11224470
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示装置的制作领域,具体涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。背景技术真空蒸镀法是制备有机电致发光显示器件(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)的关键技术,蒸镀过程常常使用坩埚对被蒸镀材料进行加热使其蒸发,然而由于被蒸镀材料导热率偏低,因此,往往导致靠近坩埚侧壁区域的被蒸镀材料升温较快,而距离侧壁较远的被蒸镀材料受热缓慢,从而使得靠近坩埚侧壁的材料蒸镀速率大于坩埚中心的材料蒸镀速率,而形成沙堆型结构,进而导致坩埚内堆积的被蒸镀材料坍塌发生,引起蒸镀速率的显著改变。为了...
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