技术编号:11224598
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明创造属于单晶硅生产领域,尤其是涉及一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置。背景技术直拉单晶工艺流程中稳定化温度时需要确定液面的位置,目前判断液面的位置主要依赖肉眼观察确认。由于操作人员的技能及经验的差距,造成稳定化温度时液面位置偏差较大,进而影响单晶体的成活率;另外,如果液面定位错误,轻者引起导流筒喷硅异常,严重者可能烫穿炉体、发生漏水爆炸事故。发明内容有鉴于此,本发明创造旨在提出一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置,以实现稳定化温度时液面位置的一致性、可控性及安全性。为达到上述目的,本...
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