技术编号：11227936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用F-P标准具测量二维微位移的装置与方法技术领域本发明属于技术领域，具体涉及了一种用F-P标准具测量二维微位移的装置与方法。背景技术目前测量微位移的方法有多种。电容测微仪法的电容C反比于微位移x,即C∝1/x，电容测量标准差SC一定时微位移标准差Sx近似为Sx∝x2SC，使电容测微仪的测量范围小。电感测微仪的位移有效分辨率一般比电容测微仪要大一个数量级。光栅细分测量法的有效分辨率以及位移接近0时的重复性标准差都比电容测微仪法大1～2个数量级。激光干涉法测微位移原理上准确度高，测量不确定度为U...
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