技术编号:11228086
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电测量技术领域,特别是涉及一种高容差光栅读数头。背景技术光栅线位移传感器主要由读数头和光栅尺组成,一般光栅尺为主光栅,安装在机床床身上固定不动,读数头安装在机床移动部件上,由照明系统、指示光栅及半导体感光元件等组成。传统的光栅线位移传感器,入射光照射到反射式主光栅上,在每条线纹反光处发生衍射现象,衍射光与入射光在指示光栅后方的Talbot平面处发生干涉成像形成莫尔条纹,被半导体感光元件所接收。Talbot平面是最佳成像面,在最佳成像面上下偏差±δv范围内,半导体感光元件可以接收到莫尔...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。