技术编号：11228536
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及椭偏仪测试技术领域，尤其涉及一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。背景技术椭偏仪通过测量反射光p分量(振动方向在入射平面内)和s分量(振动方向垂直于入射平面)的振幅比和相位差，来获得膜层材料的相关性质，具体可测的参数包括膜层厚度、折射率、消光系数、介电常数、孔隙率和结晶度等。由于椭偏测量属非接触式测量，对样品无损伤，测量精度高以及可测多层薄膜等优势，被广泛应用于微纳结构器件制造、工艺在线控制、材料研究、生物医学检测等领域。实际测量中的样品具有复杂多样性，并不只是单一的均匀膜层，而是各...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。