一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法与流程技术资料下载

技术编号:11232734

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本发明涉及一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法,属于光学检测技术领域。背景技术波前编码器件是一种非旋转式非球面,具有各个方向的光焦度和面型凹凸程度均不同的光学特性。该器件为波前编码系统的核心元件。它利用其独特的光学特性对波前进行相位编码,从而起到扩展景深的作用。所以,波前编码系统的高精度检测是实际应用的关键技术之一,也是其高精度加工的基础与保证。在球面镜误差检测时,由于通过背测球面在球面镜面型误差检验时,因为通过被测球面球心的任一直线都是球面的旋转对称轴线,所以球面检验时只要将被测球面的球心...
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