技术编号:11233071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体集成电路技术领域,具体涉及一种低压工艺中的高压NMOS晶体管。背景技术目前在电源管理芯片等产品中,为了节约面积,数字电路部分常常需要用到低压器件,而为了更好的耐压,模拟电路部分则需要用到高压器件。所以,在很多芯片上,需要同时集成高压器件和低压器件。为了应对这种趋势,目前传统的做法是在低压工艺的基础上,引入了高压工艺。高压工艺,需要在低压工艺的基础上,增加高压的P型注入层、N型注入层、高压的P阱、高压N阱等多层掩模板,这大大提高了芯片的成本,增加了芯片的制作流程,延长了芯片的产出时...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。