一种低压工艺中的高压NMOS晶体管的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11233071

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本发明属于半导体集成电路技术领域,具体涉及一种低压工艺中的高压NMOS晶体管。背景技术目前在电源管理芯片等产品中,为了节约面积,数字电路部分常常需要用到低压器件,而为了更好的耐压,模拟电路部分则需要用到高压器件。所以,在很多芯片上,需要同时集成高压器件和低压器件。为了应对这种趋势,目前传统的做法是在低压工艺的基础上,引入了高压工艺。高压工艺,需要在低压工艺的基础上,增加高压的P型注入层、N型注入层、高压的P阱、高压N阱等多层掩模板,这大大提高了芯片的成本,增加了芯片的制作流程,延长了芯片的产出时...
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