技术编号：11233407
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示器薄膜晶体管（TFT）行业电子化学品技术领域，具体涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液。背景技术在液晶面板等制造过程中，需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片形成多层精密的微电路，形成微电路之后，进一步使用专用的剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。剥离过程是将剥离液喷淋到刻蚀后的产品表面，剥离液会将未被紫外线照射的感光光阻溶解掉，留下被保护的部分，从而形成线路。光刻胶在剥离去除的过程中，产生大量有机废液，回收处理这种废液的比例对环境...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。