技术编号:11235753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及体弹性波器件和体弹性波器件的制造方法,该体弹性波器件利用了在物质的内部传播的体弹性波(BAW:BulkAcousticWave)。背景技术在以移动电话为首的无线通信设备中,仅使希望的频段的电信号通过的带通滤波器占有重要的位置。作为该带通滤波器中的一种,公知利用了表面弹性波(SAW:SurfaceAcousticWave)的SAW器件(SAW滤波器)。SAW器件例如具有由水晶(SiO2)等压电材料制成的结晶基板和形成于结晶基板的正面的梳齿状的电极(IDT:InterDigitalTran...
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