一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法与流程技术资料下载

技术编号:11242494

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本发明涉及多线切割太阳能级硅片的方法,特别是一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法。背景技术太阳能是一种可再生的清洁能源,其应用领域越来越广泛,光伏发电就是最重要的领域之一,根据光生伏特效应原理,利用太阳能电池将太阳能直接转化为电能。硅片是太阳能电池的重要组成部分,目前硅片的制备工艺几乎都是采用一种多线切割的方法将晶体硅棒切割成所需厚度的硅片。多线切割主要分为两种:(1)游离磨粒切割,即用细丝钢线带动粒径为8-20um的SiC浆液,实现对晶体硅的磨削切割,又称砂线切割;(2)固结磨粒切割,即先给...
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