技术编号：11243863
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英晶片加工领域，具体涉及一种AT切型石英晶片MEMS加工方法。背景技术石英晶体谐振器因其频率的准确性和稳定性等特性广泛应用在移动电子设备、手机、移动通信装置等电子行业，AT切石英晶片是石英晶体谐振器的核心部件。石英晶片通常采用线切割、研磨、粘坨、切片、修尺寸、化胶、滚磨、分选、腐蚀等多道工序制造完成。随着移动通信电子的迅速发展，器件小型化需求越来越高。因此，石英晶片的小型化势在必行。在石英晶片小型化的进程中，传统工艺合格率低，成本高。传统的切条、分选、腐蚀等工艺难以加工超小型石英晶片...
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