技术编号:11246651
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜形成装置及使用其制造显示设备的方法相关申请的交叉引用于2016年3月7日提交至韩国知识产权局的且题为“薄膜形成装置及使用其制造显示设备的方法”的第10-2016-0027199号韩国专利申请通过引用以其整体并入本文。技术领域本公开涉及薄膜形成装置及使用该薄膜形成装置制造显示设备的方法。背景技术随着多媒体技术的发展,显示设备的重要性稳步增长。因此,诸如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)显示器等的多种显示设备已得到发展并且变得普遍。可通过将多种薄膜沉积在衬底上来制造显示设备。存在通...
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