技术编号：11249586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。1-40GHz在片S参数测量方法技术领域本发明涉及微波/毫米波在片S参数计量技术领域，特别是涉及一种1-40GHz在片S参数测量方法。背景技术测量在片S参数(也就是散射参数，是微波传输中的一个重要参数)的仪器称之为在片S参数测量系统，其主要组成包括：矢量网络分析仪和微波探针台，其中矢量网络分析仪是测量仪器，通过微波电缆将矢网的同轴或波导输入/输出端口，连接到微波探针台的探针头，从而实现测量信号与半导体芯片的连接。由于是芯片级的S参数测量，业内将其称作在片S参数测量。在微波探针台发明之前，芯片的S...
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