技术编号：11249934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光源装置，特别是涉及具备多个LED元件的光源装置。另外，本发明涉及包含这种光源装置的曝光装置。背景技术以往，在多种领域中利用了运用光的光处理技术。例如，在使用了光的细微加工中利用了曝光装置。近年来，曝光技术开展于各种领域，在细微加工之中也被利用于相对较大的图案的制作、三维的细微加工中。更具体而言，例如在LED的电极图案的制作、以加速度传感器为代表的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微机电系统)的制造工序等中利用了曝光技术。在这些光处理技术中，作为光源...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。