技术编号:11252611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种工艺液体供给方法及装置,特别是涉及一种适用于基板处理的工艺液体供给方法及装置。背景技术请参照图1,其显示一种传统的工艺液体供给装置100的上视图。所述工艺液体供给装置100包含一第一工艺液体喷洒单元110、一第二工艺液体喷洒单元120、一旋转平台130以及位在所述旋转平台130外侧的一第一原点140和一第二原点150。所述第一工艺液体喷洒单元110包含一第一基座112、一第一支臂114和一第一喷嘴116,其中所述第一基座112设置在所述旋转平台130的外侧,并且所述第一支臂114的...
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