技术编号:11260964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器【技术领域】本发明涉及倾角传感器技术领域,特别涉及一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器。【背景技术】倾角传感器,尤其是高精度全量程倾角传感器的重要性是不言而喻的。高档数控机床和机器人、航空航天装备、高性能医疗器械这三个领域都与传感器,尤其是高精度倾角传感器密切相关,可以说,实现高精度全量程倾角传感器是建设制造强国的重要条件之一。谐振式MEMS倾角传感器作为一种高精度传感器一直受到各国研究者的青睐和重视。其一般由敏感元件、谐振元件及信...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。