技术编号：11262731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。金属-绝缘体-金属电容器结构本申请是PCT国际申请日为2014年6月13日，国家申请号为201480033612.9，题为“金属-绝缘体-金属电容器结构”的PCT国家阶段专利申请的分案申请。背景领域本公开的各方面一般涉及电容器，并且尤其涉及金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构。背景技术解耦电容器通常被使用在芯片中以滤除电源上的噪声，其中解耦电容器被耦合在电源的两个电源轨(例如，Vdd与Vss)之间。典型情况下，解耦电容器是使用包括两个金属层与部署在这两个金属层之间的介电层的金属-绝缘体-金属(...
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