技术编号：11272292
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在由载具支撑的基板上沉积一层或多层的系统及方法本申请是申请日为2014年2月4日、申请号为201480073071.2，题为“用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法”的申请的分案申请。技术领域本发明的实施例涉及有机材料的沉积、用于沉积材料(例如，有机材料)的系统、用于有机材料的源以及用于有机材料的沉积设备。本发明的实施例尤其涉及：用于制造器件(特别地，在其中包含有机材料的器件)的制造系统；用于在...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。