技术编号:11272731
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英陶瓷坩埚制备技术领域,提供一种超声波振动辅助下的石英坩埚陶瓷坯体的制备方法。背景技术晶体硅是目前主导半导体产业的关键材料,在晶体硅制备过程中,石英陶瓷坩埚又是晶硅铸锭炉的关键部件。这种用于盛装融熔硅并制成后续工序所需硅锭的容器,是拉制大直径单晶硅和多晶硅的消耗性器皿,是多晶硅铸锭和熔炼提纯过程中不可替代的关键配套部件之一。其制作质量不仅直接影响晶体硅的质量和产量,也间接影响产品的转换效率和稳定性。石英陶瓷坩埚因为生产技术难度大、原料纯度要求高、使用环境苛刻,在过去只有法国、美国及日...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。