一种表面等离子体增强型混合介质回音壁模式微腔传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11274789

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本发明涉及光纤传感技术领域,尤其涉及表面等离子体增强型混合介质回音壁模式微腔传感器。背景技术随着现代生物化工的发展,出现越来越多极微小微粒的检测场景,对光学传感器的灵敏度提出了更高的要求。表面等离子体共振(SurfacePlasmonResonance,SPR)生物化学传感器是一种基于金属表面等离子体共振效应的光学传感器,具有无需对待测样品进行标记、灵敏度高等优势。SPR效应是一种光学现象,倏逝波入射至等离子体纳米微粒表面,在表面上造成呈梯度排布的电子浓度分布,形成等离子体振荡。入射角或波长满足...
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