技术编号：11277871
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于带电粒子光学成像技术领域，尤其涉及一种带电粒子圆磁透镜。背景技术圆磁透镜是电子显微镜、电子束刻蚀系统等带电粒子光学成像技术领域重要的元件。在透射电子显微镜中，用以形成高倍的点聚焦电子像；在其他一些情形，如电子束刻蚀系统，用以对电子源的交叉截面聚焦形成低倍电子像，以获得微束斑电子探针。为减少激磁电流安匝数(或永磁材料体积)，并使透镜磁场在空间上更集中以形成更高强度的磁场，一般都使透镜带有铁壳及磁极靴。铁壳内侧设置有环形间隙，铁壳与极靴共同构成了磁路，磁路中的间隙处为主要的透镜磁场区，如图...
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