闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法与流程技术资料下载

技术编号:11278470

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本发明涉及放电激励气体激光技术领域,尤其是涉及基于静电除尘原理的具有自清洁光窗的闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法。背景技术放电激励脉冲重频气体激光器通常采用闭合循环方式,利用气体循环装置实现放电区域气体快速置换,消除前一个脉冲放电对后续脉冲的影响。然而为了保证激光器的电绝缘,激光器光窗一般采用向外突起结构,激光器运行过程中光窗内的气体不能通过气体循环装置实现有效置换,放电生成的大量微粒聚集在激光器光窗区域。这些微粒会附着在窗口玻璃内表面,污染激光窗口玻璃,减小窗口玻璃的透过率,致使激光...
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