技术编号：11282293
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体工艺设备领域，特别是涉及一种灯具。背景技术在半导体制造工艺过程中，通常需要对沉积的薄膜进行固化，以获得所需的薄膜性能。以往常采用加热烘烤达到固化薄膜的目的，但是热固化速度慢、能耗高、设备及工艺复杂，目前已逐渐被紫外固化(UVcure)所替代，所以紫外固化灯的应用范围也越来越广。但是，紫外LED(Light-EmittingDiode，发光二极管)灯属于点光源，而紫外固化需要均匀的面光源照射，因此需要对紫外LED光源进行光学设计。根据光源位置的不同，面光源可分为直下式和侧入式，侧入...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。