技术编号：11283376
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备干涉元件的光检测装置。背景技术利用光的干涉现象高精度且非接触地计测物体的形状及距离的装置已被实用化。通常在这样的装置中，使在物体上反射或透射的光(物体光)与在参照面上反射的光(参照光)干涉，将生成的干涉光进行摄像并观测。在充分保证了参照面的平面度的状态下，对应于物体光的光路长而产生干涉光的干涉条纹。由于光的波长量的光路长的变化而产生1周期的干涉条纹，所以根据干涉条纹的图案能够求出物体的计测对象面的立体形状。光的波长以上的光路长的差作为干涉条纹的重复而产生。如果物体的计测对象面是平滑...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。