技术编号:11283420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于工业测量器件,特别涉及一种用于衬底与靶源射线间的射线空间角定位仪。背景技术随着经济的发展和生活水平的提高,真空镀膜技术已广泛应用于装饰品、建筑材料、平板显示、信息存储、集成电路、外延及衬底加工等诸多领域。以衬底加工领域为例,工业用真空镀膜机为确保产能,一次性对十几甚至几十片衬底同时进行镀膜加工。衬底通常在球型真空镀膜罩中依次排列,由于球型镀膜罩中不同衬底与水平面之间角度不同,将导致镀膜的效果不同。此外,在科研领域中,镀膜角度同样是影响实验效果的因素之一。但是目前科研领域真空镀膜普遍采用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。