技术编号:11283638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种FBAR微压力传感器,具体涉及一种基于侧向场激励剪切波模式的FBAR微压力传感器。背景技术近年来,随着微机电系统(MEMS)制造技术的快速发展,薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通信领域获得了广泛的商业应用。其具有相对体积小、插入损耗低、谐振频率高、品质因数高等优点。同时,由于其谐振频率高,因而具有优异的传感灵敏特性。鉴于薄膜体声波谐振器本身具有的这些优良特性,其在传感器领域的应用正引起人们广泛的研究兴趣。微压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器。按照原理划分,微压力传感器包括...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。