臭氧生成装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11283795

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本发明涉及沿着电介质表面使沿面放电产生、由与放电面对置的空间中的氧生成臭氧的臭氧生成装置。背景技术图6是对现有的臭氧生成装置100(例如参照专利文献1~专利文献3。)的构成进行说明的图。臭氧生成装置100具备平板部101、第1平面导体104和第2平面导体105。平板部101具有相互层叠设置的基层102与表层103。基层102由氧化铝等陶瓷系的电介质材料构成。表层103由玻璃等电介质材料构成。第1平面导体104及第2平面导体105设置于基层102与表层103的界面。再有,第1平面导体104在俯视下...
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