技术编号:11284609
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微传感器技术领域,具体涉及一种用于X、Y方向强磁场测量的平面扭转式微传感器(MEMS)的结构设计及其制备工艺。背景技术随着世界经济的飞速发展和世界人口的增加,人类对能源的需求也越来越大,聚变能源的开发和利用是最有希望从根本上解决人类能源问题的方法,其中基于托卡马克装置的磁约束聚变研究是目前最有可能实现聚变能应用的途径之一,托卡马克装置实际上就是一个复杂的高温强辐射电磁系统,它利用多种磁体线圈产生的磁场编织成一个“磁笼”,利用带电粒子在磁场中做拉莫运动的性质,将高温等离子体约束在“磁笼”...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。