技术编号：11286467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵。详细地讲，涉及具备固定圆板的真空泵，所述固定圆板具有分割构造。背景技术真空泵中的具有西格班型结构的西格班型分子泵在旋转圆板或固定圆板的至少某一方的与间隙对置的表面上，刻设有螺旋槽（也称作螺旋状槽或漩涡状槽）流路，所述固定圆板与该旋转圆板在轴向上具有间隙（余隙）而设置。并且，对扩散进入到螺旋槽流路内的气体分子借助旋转圆板赋予旋转圆板切线方向（即，旋转圆板的旋转方向的切线方向）的动量，由此借助螺旋槽从吸气口朝向排气口赋予占优的方向性而进行排气。专利文献1：日本实用新型注册公报第25...
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