技术编号:11289551
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板处理装置。更详细而言,涉及一种具备用于控制腔室壁温度的温度控制器,从而能够将腔室内壁的温度保持在规定温度,以避免基板处理气体或挥发性物质在腔室的内壁上冷凝的基板处理装置。背景技术在制造显示装置或半导体元件时使用的基板处理装置中,对基板进行处理的腔室内部会被供应以及排出大量的气体。出于在基板上形成薄膜、或在基板上的薄膜上形成图案、或对腔室内部的气氛进行换气等目的,这些气体可以被供应至腔室内部,并从腔室排出至外部。在基板处理过程中,腔室内壁有可能被供应至腔室内部的气体或从基板挥发的...
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