技术编号:11290219
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种生成脉冲激光束的固体激光装置、光纤放大器系统和固体激光系统。背景技术随着半导体集成电路的微细化、高集成化,在半导体曝光装置中,对分辨力提出了更高的要求(在下文中,将半导体曝光装置仅称为“曝光装置”)。因此,正在推进从曝光用光源输出的光的短波长化。在曝光用光源中,使用气体激光装置来代替以往的水银灯。现在,作为曝光用的气体激光装置,使用输出波长为248nm的紫外线的KrF准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外线的ArF准分子激光装置。作为现在的曝光技术,如下的液浸曝光已被投入实...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。