技术编号:11299871
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅电池片生产技术领域,特别涉及一种多晶硅铸锭炉,尤其是一种多晶硅铸锭炉保护气热循环系统。背景技术多晶硅电池片的生产工序包括:坩埚喷涂→填料→铸锭→切割成块→线割成片→清洗干燥→检测→包装,其中,铸造多晶硅锭是一道重要的工艺,多晶硅铸锭的质量将直接影响太阳能电池的转换效率和质量。铸造多晶硅锭,是将填料后的坩埚放置在铸锭炉内,经过炉腔抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却后,完成硅锭的铸造。现有技术中多晶硅铸锭炉内设有顶部加热器和侧面加热器,顶部加热器和侧面加热器设为一体,通过顶部...
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