技术编号:11315096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及测量装置技术领域,具体地说是涉及一种垂直扫描测量白光干涉测头,该测头可用于大量程垂直扫描三维表面形貌光学轮廓测量仪。背景技术随着科学技术的发展与进步,对零件表面精度测量的要求也越来越高,先进的检测技术已经被各个国家高度重视并广泛应用。表面形貌测量可以根据是否与被测物体接触分为接触式和非接触式两大类。垂直扫描白光干涉测量法是一种十分重要的表面形貌测量方法,具有非接触、大量程的优点,且可进行三维测量,在表面测量领域有着十分广泛的应用。现有技术中公开了一种白光干涉光学轮廓仪,其存在的弊端...
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