技术编号：11316869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于抛光技术领域，涉及一种LED用蓝宝石衬底片的单面抛光方法，尤其涉及一种LED用蓝宝石衬底片的有蜡单面抛光方法。背景技术随着电子和光电行业下游技术的不断进步，对于蓝宝石衬底片的需求量越来越高。在保证加工精度的同时，也要不断地提高生产效率。当前国内，对晶圆和蓝宝石衬底片的加工以有蜡的化学机械抛光(CMP)为主。有蜡抛光又分固态蜡和液态蜡两种方式，固态蜡的方式使我们对于蓝宝石衬底片的加工精度不好掌控，而液态蜡可以均匀且有效的控制蜡膜厚度跟加工精度，但匀蜡机在涂覆过程中会造成很大一部分废蜡，而...
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