一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11322017

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本实用新型涉及一种精密压电驱动器,特别涉及一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器,可应用于显微生物技术、大规模集成电路制造、微/纳显微操作机器人、微机电系统等领域。背景技术近年来,随着科学技术的发展,人类对微观领域的研究越来越深。微机械技术、微/纳米测量技术已经成为现如今高新技术领域的热门,而具有微/纳级别定位精度的压电驱动技术更是这些微/纳加工、微/纳操作、精密光学、航空航天等诸多高尖端技术领域中的核心技术,这些领域迅猛的发展对其核心技术提出了更高的要求。研究人员倾力于研究性能更优异的高精...
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