一种超结DMOS器件的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11325562

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本发明属于半导体功率器件技术领域,涉及一种超结DMOS器件。背景技术功率DMOS因其开关速度快、损耗小、输入阻抗高、驱动功率小、频率特性好等优点,在功率变换特别是在高频功率变换中起着重要作用。不断提高的系统性能要求功率DMOS具有更低功率损耗的同时,在高电应力下也具有更高的可靠性。当系统回路中存在非箝位电感负载时,导通状态下存储在电感中的能量会在关断时全部由DMOS释放,高电压和大电流将同时施加在功率DMOS上,极易造成器件失效。因此,抗UIS(UnclampedInductiveSwitchi...
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