基于量子阱结构的光开关器件的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11325574

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本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种基于量子阱结构的光开关器件。背景技术光电导开关是基于半导体材料的光电子器件,用光照射半电导材料,在其内部产生光生载流子,电阻率下降而使器件导通;无光照时,器件截止。光电导开关可用于电信号的高速采样、开关以及毫米波和太赫兹波的产生和探测等方面。常用的半导体光电导材料包括低温生长的砷化镓、硒化镉、铟化磷、无定形硅等。常规的基于半导体材料的光电导开关,为了减小光开关的开关时间,常用低温生长、掺杂、粒子束轰击等技术在半导体内部产生缺陷,从而减小载流子的寿命。这些方法...
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