技术编号:11330801
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。使用提纯装置生产合成石英玻璃的方法本发明涉及使用特殊的提纯装置生产合成石英玻璃的方法、包含特殊的提纯装置的用于生产合成石英玻璃的装置、多孔二氧化硅颗粒的散积物用于提纯原料蒸气的用途,所述原料蒸气用于生产合成石英玻璃,以及涉及根据本发明的方法获得的合成石英玻璃。为了生产合成石英玻璃,由含硅起始物质以CVD法通过水解或氧化产生SiO2颗粒并沉积在移动的载体上。该方法可分为外部沉积法和内部沉积法。在外部沉积法的情况下,将SiO2颗粒施加在旋转载体的外侧上。作为相关的外部沉积法的实例,可提及所谓的OVD...
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