技术编号:11333122
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种包括垂直探针的测试头。特别地但不排他地,本发明涉及一种包括非受阻(non-blocked)垂直探针的测试头,以测试集成在半导体晶片上的电子器件,下述说明仅为了方便说明而参照了该技术领域。背景技术众所周知,测试头本质上是一种设备,其适于将微观结构的多个接触垫电连接至执行其测试的测试机的相应通道。在集成电路上进行的测试能够检测和隔离出在制造阶段已出现的故障电路。因此,通常,在将晶片切开并将其组装在芯片包装内之前,测试头就被用于电测试集成在晶片上的电路。包括垂直探针的测试头通常包括至少一...
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