技术编号：1133350
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于柔性互连线的微加工，具体涉及一种用于三维电学互连的柔性集 成互连线的制作方法。技术背景神经微电极阵列是探测神经信号必备的工具，因此得到了广泛地研究和开发。由于神 经微电极尺寸较小，在与外界的电学互连上就存在一定的困难，特别是三维神经微电极阵 列的互连线，需要精密的加工设备，工艺复杂，制作成本也很高，例如，Utah型神经微电 极阵列，需要专门的焊接技术把每根微电极与金丝焊接起来，然后封装起来，所以工作量 比较大。 发明内容本发明的目的在于提出一种集...
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