一种双面对位曝光装置及含有该装置的激光直写设备的制造方法技术资料下载

技术编号:11333776

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本实用新型涉及一种双面对位曝光装置及含有该装置的激光直写设备,属于直写曝光机技术领域。背景技术直写曝光技术是近年来迅速发展起来的影像直接转移技术,以其工艺流程简单、生产效率高、制造成本低等特点,很快取代了传统的掩膜板式的光刻技术,成为在PCB和半导体等生产领域最重要和最普遍的技术。但是,在现有技术的直写设备对PCB板进行双面曝光时,常常很难将板两面的图形进行精确对位,尤其对于内层板,由于内层板上没有定位孔的存在,更难以实现两面曝光图形的精确对位,造成曝光质量下降,严重时导致产品报废。传统的对位方...
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