绝缘栅功率半导体装置以及用于制造这种装置的方法与流程技术资料下载

技术编号:11334387

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本发明涉及功率电子学领域,以及更具体来说涉及根据独立权利要求1所述的用于制造绝缘栅功率半导体装置的方法或者涉及同样根据独立权利要求8的导言所述的装置。背景技术图1中示出如从EP0795911A2已知的现有技术绝缘栅双极晶体管(IGBT)。现有技术装置包括有源单元,其中不同导电类型的层按照下列顺序处于发射极侧22上的发射极电极2和与发射极侧22相对的集电极侧27上的集电极电极25之间:(n+)掺杂源极层3、p掺杂基极层4(其接触发射极电极25)、n掺杂增强层95、(n-)掺杂漂移层5、(n+)掺杂...
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