技术编号:11334943
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及扫描电子显微镜领域,尤其涉及一种扫描聚焦系统。背景技术扫描电子显微镜作为20世纪60年代出现的观测仪器,已广泛应用于半导体制造、材料科学、生命科学等各个领域。与光学显微镜相比,由于扫描电子显微镜中的电子经加速后具有比光子更高的能量,并且根据德布罗意的物质波理论,电子所具有的波长远小于光波长,因此扫描电子显微镜具有比光学显微镜更高的分辨率;但是,扫描电子显微镜具有扫描范围小、成像速度相对较慢的缺点。在半导体工业领域,为了提高集成电路、内存器件等半导体器件的产出效率及可靠性,在生产器件...
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