技术编号：11348829
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于流化床技术领域，尤其与一种颗粒状多晶硅流化床加热器有关。背景技术多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶，多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原材料，是全球电子及光伏产业的基础。现今世界上生产高纯度多晶硅的较为成熟的工艺有改良西门子法，冶金法及新硅烷法，其中新硅烷法和改良西门子法占据了当今发展的主要潮流，新硅烷法通过将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，是...
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