技术编号:11359275
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气液混合系统,尤其涉及一种可调整溶解于液体中的气体分子浓度的气液混合系统。背景技术在电子元件制作过程中,为了避免污染影响产品的良率,使用去离子水作为超纯水源以调制各种不同的溶液。电子元件制作过程中的部分步骤使用的溶液,是由气液混合系统将特定种类气体溶于去离子水中所调制而成。目前常用的气液混合系统在根据监控结果调整液体中的气体溶解度时,通过调整通入液体中的气体量以调整液体中的气体溶解度。然而,由于气体溶入液体中的速度较慢,使得液体中的气体溶解度无法被快速地调整至预定范围,造成制作...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。