技术编号：11362082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及保养装置技术领域，尤其涉及一种滚轮保养装置。背景技术在TFT(ThinFilmTransistor，薄膜场效应晶体管)、触摸屏、半导体等的生产过程中，大量设备使用滚轮与玻璃接触，通过滚轮的转动带动玻璃沿水平方向移动。滚轮长期使用后，或因为洁净间的洁净度不够，空气中的细小粒子会在滚轮表面聚集，形成脏污；蚀刻、显影以及清洗等设备内使用大量的化学溶液，也容易在滚轮表面残留；此外，高温环境下滚轮表面的材质易变性。这些脏污、化学溶液以及变性的材质等污染物极易使玻璃表面被染污。滚轮原材表面的不...
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