技术编号:11364043
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种空心硅芯及其硅芯组件【技术领域】本实用新型涉及一种多晶硅生产过程中使用的硅芯,具体说涉及一种空心硅芯及其组件。【背景技术】随着光伏(PV)行业的发展,多晶硅的使用量在逐渐增大。生产多晶硅时,多数是利用还原炉进行多晶硅的还原生产,即通过化学气相沉积(CVD)法在硅芯的表面沉积多晶硅。在现有技术中,首先将三根实心圆硅芯或方硅芯搭接成“Π”字形结构,然后在还原炉内进行还原反应。所述还原反应是在一个密闭的还原炉中进行的。先在还原炉内用硅芯搭接成若干“Π”字形结构的闭合回路,即进行“搭桥”。每个闭合回...
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