技术编号：11364657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种抛光液生产设备技术领域，尤其涉及一种氧化铝抛光液生产装置。背景技术化学机械抛光过程中，抛光液对工件表面的化学腐蚀是抛光的第一，其腐蚀作用是抛光液和工件表面接触时，工件表面发生化学反应，形成一层薄软化层“然后磨粒与工件之间相对运动产生的摩擦，对工件表面突起部分产生机械作用，使该部分的软化层被去除而脱离工件表面”而新暴露出的工件表面，继续被抛光化学腐蚀“这种化学作用与机械作用的不断重复,使工件表面逐渐光滑”，化学机械抛光过程综合了化学和机械抛光的优势。氧化铝又称为刚玉，在摩氏硬度表...
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